随着集成电路线宽不断减小，允许存在的固体颗粒直径越小，同时晶圆向大尺寸发展，这就对包装容器与防护材料的高纯性能要求越高，加之加工生产难度更大，就要确保良品率更高。

·晶圆装载与运输的防护晶圆盒有几种主要种类，无论采用多晶圆卧式装运箱，还是水平可堆叠装运箱，以及垂直装运箱，其在装载和运输过程中必须确保晶圆安全无虞。保护晶圆盒的材料，通常包括装运箱，在某些情况下还包括衬垫，是确定物流公司对安全运输的重视程度时要检查的最大因素。

△图源：waferworld

·为什么晶圆封装很重要正如您所担忧的那样，晶圆是敏感的。专家估计，在美国，大约10%的包裹在运输过程中的某个时候会损坏。运输过程中的主要考虑因素之一是，了解如何平衡运输成本与物流公司的可靠性。

△塑料泡沫模块晶圆载体：内部泡沫和外部泡沫均由防静电IXPE导电泡沫制成。顶部塑料外壳由聚碳酸酯制成，而底部塑料外壳则由ABS制成。图源：Mtixtl但是科学可靠的包装方式可以尽量减少对晶圆的损害。研究人员对多晶圆水平运输箱进行冲击试验，从毫米（研究人员认为与克的冲击力相称）下降，一些晶圆仍然未损坏，有意思的是，损坏的晶圆并不都在一个区域。如果晶圆在一个位置群中损坏，这将表明包装盒子有脆弱的区域，其中晶圆没有受到保护。相反，这表明包装在整个过程中吸收了尽可能多的力。

研究人员还确定，在克冲击力下，损伤变得严重。这是许多晶圆可能明显破裂的时候。

△防静电闭孔聚氨酯泡沫图源：荣耀电子材料（重庆）有限公司

·晶圆防护材料性能

可靠的包装形式必须具被伟大的创新防护材料及其组合方案。代工厂和客户显然必须要求运输公司使用的材料同时具备以下特性要求：

由于与晶圆直接接触，材料必须防静电、导电；

必须满足所有ESD预防措施，以防止的任何电气损坏；

有一定的机械强度和可调节的柔韧度；

要求包装材料高净化的化学纯度，不会残留杂质（如催化剂、抗氧剂、稳定剂、聚合物单体等）析出，以免造成二次污染；

充分了解晶圆产品对防护性能、精度和洁净度的严格要求也非常重要；

客户要求的其他个性化建议。

△晶圆界面材料包括隔叶或晶圆分离器、高纯度导电材料、高纯度缓冲材料、缓冲盘和边缘保护器、导电和防静电发泡材料图源：Epak·晶圆级封装防护材料性能

如果你是IDM大厂，抑或垂直分工成员，也或者是运输公司，立即

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